比千分尺精度更高的是电感测头，同样是比对测量，电感测头的测量精度是：0.0001mm,重复性0.01μ。名的装修'>深圳思瑞精密机器有限公司，就用安一量具公司(www.aylj.com)生产的600mm步距规(步距规修正误差0.001mm)检验三座标测量机的位移精度。 步距规的工作量块有钢质和金属陶瓷两种。因钢质量块易生锈且不耐磨损，绝大多数客户选用陶瓷量块步距规，与国外应用情况一致。现新制定的陶瓷量块标准已列入国家标准。 使用步距规前，应用洁净脱脂棉(可沾少许航空汽油120#)擦净各工作表面。对钢质量快，使用前需除净防锈油，使用中勿用手指触摸量块工作面(手汗极易使钢量块生锈)，用完后应涂防锈油。陶瓷量块不生锈且耐磨耐用。 步距规的工作尺寸是指各量块外露部分工作面中点间的距离。 检测数控机床各坐标方向定位精度 将步距规放置在工作台上并沿某一坐标方向(X、Y、Z)调整基体使之与某一导轨方向平行(斜度100：0.01)。在主轴头架上吸附刚性较高的磁力表座并装上杠杆千分表。因杠杆千分表的质量对检测结果影响较大，故应选用精度高尤其重复性好(不超过0.001mm)的高档杠杆千分表