将步距规放置在工作台上并沿某一坐标方向(X、Y、Z)调整基体使之与某一导轨方向平行(斜度100：0.01)。在主轴头架上吸附刚性较高的磁力表座并装上杠杆千分表。因杠杆千分表的质量对检测结果影响较大，故应选用精度高尤其重复性好(不超过0.001mm)的高档杠杆千分表。
测量时杠杆千分表测头应处于各量块工作面中心区域。测量Z轴方向(垂直方向)定位精度时，应将步距规直立放置进行检验。
出厂检验报告已标出步距规各工作尺寸偏差值，处理测量结果时应将测得值加上工作尺寸的偏差值(带正负号)。
修正后的测量结果即为各坐标方向的定位误差，将某坐标方向各点的定位误差记录并绘成坐标曲线，利用记录和曲线图，借助有关软件进行误差修正。
陶瓷工作量块的热膨胀率为(9.5±1.0)×10-6 K-1，中间垫块与钢质量块的热膨胀率为(11.5±1.0)×10-6 K-1；当环境温度偏离20°C，还应考虑温度变化可能引起的测量误差。